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                                                                             硅片清洗机

        苏州华林科纳半导体设备有限公司是一家生产、研发为一体的公司。是国内领先的湿设备系统供应商,10多年以来始终为半导体和太阳能行业提供创新的专用湿法解决方案。

        我们的硅晶片清洗机的产品信息如下:

            1、用于硅晶片清洗腐蚀;

            2、清洗规格:2 inch ,4 cassette/Batch, 25 Pcs/cassette;4 inch,2 cassette/ Batch,25 Pcs/cassette;

            3、工艺说明:手动方式实现放件,取件,槽体间传送件;

            4、设备形式:室内放置型;

            5、腐蚀工艺自动补药液保证了工艺槽在运行过程中浓度的稳定性;

            6、工艺参数(温度,时间,DIW水清洗模式、时间可调)手动由触摸屏界面可设定;

            7、机台前方为清洗工作区域,机台后上方为电器和气路布置区域,后下方为液路布置区域;

            8、药液供给及补液方式:分体式CDS自动供液系统;

            9、DI槽配有在线式水质检测装置。

            10、非标设备,根据客户需求具体定制,欢迎咨询详情!

 

    苏州华林科纳半导体设备技术有限公司http://www.hlcas.com

    硅片清洗机 半导体湿制程 硅片湿处理

 
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